電子束結(jié)構(gòu)介紹

粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)安裝介紹安裝臺架：整個設(shè)備安放在一個用型鋼焊接而成的臺架上，此臺架及圍板均進(jìn)行防銹及噴塑處理。顯像管中的電子槍對應(yīng)于增速器的電子槍或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運(yùn)動的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈，對應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件，如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運(yùn)行管道來說，為了減少粒子在運(yùn)動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞，所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬倍。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，根據(jù)科學(xué)家對粒子能量和流強(qiáng)的不同要求，陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。

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電子束操作及注意事項

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務(wù)必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6A，預(yù)熱時間新陰極5分鐘以上（應(yīng)緩慢調(diào)至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發(fā)前對材料先預(yù)熱除氣。?

⑤蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板→關(guān)閉高壓→燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6A的位置→關(guān)閉束流調(diào)節(jié)電源并調(diào)至低位置→關(guān)閉磁場電源，工作時操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣

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電子束鍍膜屬于蒸鍍還是濺射？

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1.蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍以及離子鍍都是物理氣相沉積（PVD）的工藝方法。

2.蒸發(fā)鍍主要包括：電阻加熱蒸發(fā)、感應(yīng)加熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、激光加熱蒸發(fā)、離子束蒸鍍等。

3.您所說的E型槍鍍膜和直型電子槍鍍膜都是屬于熱蒸發(fā)鍍膜的范疇。

4.S槍濺射實際就是錐形磁控濺射靶，陰極靶材為環(huán)狀錐形，安裝在水冷座上。2、分子篩吸附裝置，避免機(jī)械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。環(huán)狀磁鋼套在靶材外邊形成曲線磁場，其平行靶面的磁場分量和垂直于靶面的電場分量形成正交電磁場。電子束被約束在靶面附近運(yùn)動，電子流密度很大，在靶面附近產(chǎn)生很強(qiáng)的非彈性碰撞，電離幾率很大，形成很強(qiáng)的等離子體。