質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行模植荚?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數(shù)時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù)，是一個(gè)因變量，而流體的質(zhì)量是一個(gè)不隨時(shí)間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計(jì)中，如孔板流量計(jì)、層流質(zhì)量流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、超聲波流量計(jì)和橢圓齒輪流量計(jì)等的流量測(cè)量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過(guò)程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟(jì)核算和貿(mào)易交接等活動(dòng)中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計(jì)僅僅測(cè)得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設(shè)法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測(cè)量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數(shù)后，通過(guò)修正、換算和補(bǔ)償?shù)确椒ㄩg接地得到流體的質(zhì)量。這種測(cè)量方法，中間環(huán)節(jié)多，質(zhì)量流量測(cè)量的準(zhǔn)確度難以得到保證和提高。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，相繼出現(xiàn)了一些直接測(cè)量質(zhì)量流量的計(jì)量方法和裝置，從而推動(dòng)了流量測(cè)量技術(shù)的進(jìn)步。

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氣體質(zhì)量流量控制器的原理

體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)檢測(cè)溫度，另一個(gè)作為加熱器。這兩個(gè)元件和流量計(jì)內(nèi)的電路組成一個(gè)溫控系統(tǒng)，該溫控系統(tǒng)保持溫度檢測(cè)元件和加熱器之間的溫度值恒定。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系，來(lái)反映氣體的流量。