流量控制器分類

熱式質量流量器根據熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質量流量器這種質量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用，這是接觸式的缺點。怕液體和油污進入MFC,會造成失控,如果MFC的出口接有液體罐,需要在MFC出口加上單向閥,防止液體回流。

2．非接觸式熱式質量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。②在進口端置一金屬（或塑料）網，可有效地改善流速分布畸變，得到分布均勻的氣流。我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。1．接觸式熱式質量流量器這種質量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質量流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

一定要按實際使用氣體標定顯示嗎？

不一定。按實際實際使用氣體標定顯示，顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實際應用場合，只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復性，至于該氣體的實際質量流量是多少，用戶并不是特別關心。在這種情況下，您直接使用廠家的標準出廠產品（氮氣標定顯示）也可以。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據自動記錄﹑計算機管理等。當然，如前面所提到的，您在選定流量規(guī)格時，需要換算一下，以選擇合適的量程。對于某些用戶，同一個產品有時可能會通不同的氣體，這種情況下，直接使用氮氣標定出廠的產品更方便。