亂流式此種方式是讓空氣通過(guò)空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車(chē)間內(nèi)之空氣過(guò)濾

亂流式

此種方式是讓空氣通過(guò)空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈車(chē)間內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈車(chē)間，并由潔凈車(chē)間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。此型式適用于潔凈車(chē)間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。氣流非直線(xiàn)型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈車(chē)間的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈車(chē)間等級(jí)。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。

復(fù)合式ULSI制程大都采用此種型式

復(fù)合式

此種方式是為了將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

1．裝局部潔凈車(chē)間：將潔凈車(chē)間等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈車(chē)間內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

2．凈管道：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

3．凈隧道：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：①?gòu)椥詳U(kuò)充容易;②維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無(wú)塵室拖把得話(huà)可以用成桶著嗎?

如果是無(wú)塵室拖把得話(huà)可以用成桶著，隨后放在角落，或是門(mén)身后，總而言之不值一提的地區(qū)就可以了！技術(shù)或訂制拖把架（不銹鋼板制為好是），那樣的話(huà)放置在許多地區(qū)都很美觀(guān)大方。假如標(biāo)準(zhǔn)容許得話(huà)就把拖把放在生產(chǎn)車(chē)間外邊啊，既能不占有生產(chǎn)車(chē)間室內(nèi)空間有能維持干躁，增加拖把使用期限。

普遍的電動(dòng)式拖把都不太好用，由于轉(zhuǎn)動(dòng)的拖頭沒(méi)法帶去廢棄物，乃至?xí)U棄物甩掉，路面有一點(diǎn)廢棄物或是頭發(fā)，就如何都拖不干凈，并且拖頭非常容易臟，拖一次地得換好數(shù)次拖把，假如光說(shuō)拖地板，還比不上一般的手推式拖把功能強(qiáng)大。但是電動(dòng)式拖把也是有優(yōu)勢(shì)，那便是尤其省勁，也無(wú)需低頭，便是用2個(gè)手指頭扶著，把握一下方位，就可以拖完地，老年人小孩子都能夠用。假如把路面先掃一下或是吸塵機(jī)多吸一遍，還可以拖得較為整潔。

一般潔凈區(qū)開(kāi)門(mén)方向應(yīng)是向清潔等級(jí)高的方向打開(kāi)

一般潔凈區(qū)開(kāi)門(mén)方向應(yīng)是向清潔等級(jí)高的方向打開(kāi)，緩沖間的清潔等級(jí)同高側(cè)等級(jí)，門(mén)打開(kāi)方向可均為內(nèi)開(kāi)。實(shí)際以下：1、由低等級(jí)向別開(kāi)。2、由氣壓小的向氣壓大氣向開(kāi)（實(shí)際上非常好了解，僅有這般才可以將門(mén)關(guān)好呀）。3、消防安全規(guī)定通向省外的門(mén)，一般都向外開(kāi)！

因?yàn)閮艋?chē)間門(mén)的承受力大而猛，在凈化車(chē)間門(mén)程的固定不動(dòng)中尤應(yīng)留意程以及洞邊附近的支撐點(diǎn)是不是堅(jiān)固平穩(wěn)。一般所提的凈化車(chē)間門(mén)的氣體泄露只不過(guò)是由所述三種間隙造成的難題。這三種結(jié)構(gòu)間隙中，凈化車(chē)間門(mén)窗大多數(shù)一同具備三類(lèi)結(jié)構(gòu)間隙。一類(lèi)是樘的組成拼湊和樘與凈化車(chē)間門(mén)洞間的安裝間隙。因此在凈化車(chē)間門(mén)的設(shè)計(jì)方案中針對(duì)主題活動(dòng)間隙的密封性解決是更加突顯的難題。