熱風(fēng)循環(huán)烘箱的常見故障

核對(duì)一下GCD一23A型智能電腦溫控儀的PID調(diào)節(jié)參數(shù)，看是否人為誤操作，致使設(shè)置參數(shù)變更，從而使得系統(tǒng)出現(xiàn)動(dòng)作異常。再按一下SET鍵，使PV屏顯示工作室溫度，SV屏顯示新的設(shè)定溫度。PID參數(shù)直接影響著系統(tǒng)的調(diào)節(jié)精度，是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的核心內(nèi)容。通過適當(dāng)?shù)腜ID參數(shù)，PID控制可以根據(jù)系統(tǒng)被控過程的誤差特性，利用比例、積分、微分計(jì)算出系統(tǒng)控制量，得到相應(yīng)的輸出響應(yīng)特性，控制系統(tǒng)使其達(dá)到滿意的控制效果。恢復(fù)PID參數(shù)正常設(shè)置值。其次檢測(cè)循環(huán)風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，轉(zhuǎn)向是否正確。如果風(fēng)機(jī)反轉(zhuǎn)或風(fēng)機(jī)負(fù)載太大而轉(zhuǎn)速過慢，都將影響熱風(fēng)循環(huán)不暢通。當(dāng)風(fēng)機(jī)反轉(zhuǎn)時(shí)，可將風(fēng)機(jī)的電源任意兩相倒換;當(dāng)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速過慢時(shí)，應(yīng)從兩個(gè)方面進(jìn)行檢查:(1)電氣方面電源電壓是否正常，有無(wú)缺相或繞組斷路現(xiàn)象。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱的配置

一、概述

熱風(fēng)循環(huán)烘箱又名電熱鼓風(fēng)干燥箱（以下簡(jiǎn)稱干燥箱）,是SY841型的升級(jí)型,更注重產(chǎn)品的節(jié)能性和安全性，采用國(guó)家經(jīng)委重點(diǎn)推廣的節(jié)能環(huán)保加熱新技術(shù)，當(dāng)它被加熱物體吸收時(shí)可直接轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，從而獲得快速干燥效果，達(dá)到縮短生產(chǎn)周期，節(jié)約能源，提高產(chǎn)品質(zhì)量等目的。所設(shè)定的溫度值不受其它因素的影響，也使初期設(shè)定的溫度與任何一時(shí)刻的溫度相同或者相近似能達(dá)到250-300度的烤箱，就是好的烤箱。使用方便、效果顯著，是一種理想的有廣闊前景的干燥設(shè)備。適用于工農(nóng)業(yè)，醫(yī)l療衛(wèi)生，塑料機(jī)械，大專院校和科研部門的生產(chǎn)車間或?qū)嶒?yàn)室。

二、結(jié)構(gòu)

干燥箱箱體由角鋼、薄鋼板制成。外殼與工作室間填充玻璃纖維保溫。加熱系統(tǒng)裝置在工作室的頂部。裝有鼓風(fēng)的本型烘干箱能有效的避免工作室內(nèi)存在的梯度溫差及溫度過沖現(xiàn)象，且能提高工作室內(nèi)的溫度均勻性。

雙開門烘箱的使用注意事項(xiàng)

1.烘箱應(yīng)安放在室內(nèi)干燥和水平處，防止振動(dòng)和腐蝕。

2.要注意安全用電，根據(jù)烘箱耗電功率安裝足夠容量的電源閘刀。選用足夠的電源導(dǎo)線，并應(yīng)有良好的接地線。

3.帶有電接點(diǎn)水l銀溫度計(jì)式溫控器的烘箱應(yīng)將電接點(diǎn)溫度計(jì)的兩根導(dǎo)線分別接至箱頂?shù)膬蓚€(gè)接線柱上。另將一支普通水l銀溫度計(jì)插入排氣閥中，（排氣閥中的溫度計(jì)是用來(lái)校對(duì)電接點(diǎn)水l銀溫度計(jì)和觀察箱內(nèi)實(shí)際溫度用的）打開排氣閥的孔。正常滿箱時(shí)溫度從室溫一直加熱到250℃需要2．5h，1個(gè)工作周期需要約6h。調(diào)節(jié)電接點(diǎn)水l銀溫度計(jì)至所需溫度后緊固鋼帽上的螺絲，以達(dá)到恒溫的目的。但必須注意調(diào)節(jié)時(shí)切勿將指示鐵旋至刻度尺外。

4.當(dāng)一切準(zhǔn)備工作就緒后方可將試品放入烘箱內(nèi)，然后連接并開啟電源，紅色指示燈亮表示箱內(nèi)已加熱。當(dāng)溫度達(dá)到所控溫度時(shí)，紅燈熄滅綠燈亮，開始恒溫。為了防止溫控失靈，還必須照看。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過程。特別是當(dāng)工作在200℃以上時(shí)，開啟箱門有可能使玻璃門驟冷而破l裂。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。它適用于比室溫高5~300℃（有的高200℃）范圍的烘培、干燥、熱處理等，靈敏度通常為±1℃。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。