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Edwards真空分子泵選型服務(wù)介紹,廣州潽拓光電科技

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發(fā)布時(shí)間:2020-07-23 12:31  






我司從事機(jī)電自動(dòng)化,光電存儲(chǔ)媒體,半導(dǎo)體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計(jì)專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。英國edwards愛德華真空泵e2m28技術(shù)數(shù)據(jù):排量(工作容積)50hz32。

廣州潽拓光電——成功維修Edwards RV5真空泵  

Edwards旋片真空泵產(chǎn)品應(yīng)用:

濕泵應(yīng)用

分析儀器 - LCMS

蒸餾、萃取、過濾、冷凍干燥、凝膠體干燥、溶劑回收、離心蒸發(fā)

多塵應(yīng)用

熔爐、脫氣

清潔干燥應(yīng)用

分析儀器 - GCMS

離心機(jī)、鍍膜、前級(jí)渦輪泵、氣瓶充氣/排空、泄漏探測(cè)器、負(fù)載鎖、電子顯微鏡

Edwards RV5旋片真空泵 產(chǎn)品型號(hào)及附件:

EDWARDS 愛德華EM 系列 E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30,E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12,E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275


   我司從事機(jī)電自動(dòng)化,光電存儲(chǔ)媒體,半導(dǎo)體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計(jì)專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。三、油封機(jī)械真空泵的應(yīng)用油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。


功能和優(yōu)勢(shì)

-先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)        

-無油   

-低振動(dòng) 

-高度可靠     

-免維護(hù)

-先進(jìn)的控制器設(shè)計(jì)  

-自動(dòng)調(diào)整   

-自行診斷功能      

-直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)     

-無電池運(yùn)行

-緊湊型設(shè)計(jì)  

-占地面積小     

-半機(jī)架控制器

應(yīng)用

-金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物)     

-電子回旋共振

-(ECR) 刻蝕

-光致抗蝕劑脫模

-晶體/晶膜生長(zhǎng)

-晶片檢查

-負(fù)載鎖真空腔

-科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

-高能物理:射束線

應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋



廣州潽拓—{精}愛德華EDWARDS RV8真空泵



真空泵安裝指導(dǎo)

1、泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。

2、泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。

3、泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入泵腔。)

4、在連接管路中,用戶可在泵進(jìn)氣口上方安裝閥門及真空計(jì),隨時(shí)可檢查泵的極限壓力。

6、泵通電試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),須取下電機(jī)皮帶,確認(rèn)泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉(zhuǎn)噴油。(轉(zhuǎn)向按防護(hù)罩指示方向)

7、對(duì)于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。

8、如泵口安裝電磁閥時(shí),閥與泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。











潽拓—{精}真空泵

   廣州潽拓光電維修保養(yǎng)愛德華Edwards RV5真空泵如下圖:


Edwards RV5 真空泵功能和優(yōu)勢(shì):

-48 dBA,程度減少了侵?jǐn)_性頻率。

-雙模式。適用于高吞吐量和高真空應(yīng)用。

-的高壓潤滑。

-帶印刷墊片的油封,軸封。

-高技術(shù)聚合物葉片,直徑大,油路易于清潔。

-具有一致的固有質(zhì)量,鑄棒結(jié)構(gòu)。









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