單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中，氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。

    空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用；阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。

    潔凈室凈化工程檢測點的安置：依據(jù)中華人民共和國國家標準GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》的規(guī)則：在對凈化車間進行潔凈度檢測時，檢測點應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面內(nèi);關(guān)于單向流型凈化車間測點總數(shù)應(yīng)不小于20點，測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅安置在一凈化車間工作區(qū)內(nèi);非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2安置5個測點。

    我國的潔凈室工程開始于20世紀60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級單向流潔凈室;與此同時，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過濾器，潔凈工作臺、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標與世界水平尚有差距，但已能滿足國內(nèi)部分需求，到20世紀70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。