特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無　水，管路、閥門和容器不用時應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環(huán)氧乙1烷可殺滅細(xì)1菌（及其內(nèi)孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

 特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。自80年代1開始，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數(shù)目已與國外發(fā)達(dá)國家水平相近。

特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；特種氣體的重要性：正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大，應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。

滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強(qiáng)、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優(yōu)點(diǎn)，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國家相比，尚有較大差距；電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。