ZF500有機蒸發(fā)鍍膜機

廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等，半導(dǎo)體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。

系統(tǒng)組成:

主要由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空抽氣及測量、膜厚測試 、電控系統(tǒng)組成。

技術(shù)指標：

極限真空度4×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1.2×10-7PaL/S； 恢復(fù)真空時間：40分鐘可達6.0×10 Pa-4

真空室：D形真空室，尺寸350× 400mm

樣品臺：尺寸為4英寸4平面樣品；

有機束源爐：數(shù)量：4支，標準型600度控溫；

樣品架：安裝加熱爐。基片的溫度從室溫至600℃（硅片上表面的溫度，只需標定一次即可）

4套擋板系統(tǒng)：動密封手動控制；

樣品擋板（１套），磁力撥叉，

膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999? 

以上就是關(guān)于電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線電話或關(guān)注沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司！

什么是蒸發(fā)鍍膜？

蒸發(fā)鍍膜常稱真空鍍膜。

其特點是在真空條件下，材料蒸發(fā)并在玻璃表面上凝結(jié)成膜，再經(jīng)高溫?zé)崽幚砗?，在玻璃表面形成附著力很強的膜層。?0 多種元素、50 多種無機化合物材料和多種合金材料可供選擇。PVD工藝的首要條件是在真空條件下操作，因為限量以上的殘余氣體會影響膜的成分和性質(zhì)。為了實現(xiàn)鍍膜工藝，要求殘余氣體的壓力為0.1～1Pa。電阻蒸發(fā)鍍膜機的結(jié)構(gòu)以及特點結(jié)構(gòu)和特點：結(jié)構(gòu)可為立臥式雙開門結(jié)構(gòu)，成膜速率快，色澤鮮亮，膜層不易受污染，可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層，不產(chǎn)生廢液、廢水，可避免對環(huán)境污染，屬環(huán)保設(shè)備。

ZF350有機無機聯(lián)合制備：采用3～4組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校材料、物理、化學(xué)、電子、能源等相關(guān)學(xué)科以及科研院所制備高質(zhì)量功能薄膜、蒸鍍電極等，特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。如果您想要了解更多電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。

電阻熱蒸發(fā)鍍膜——“蒸發(fā)技術(shù)”介紹

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。

蒸發(fā)技術(shù)分為間歇蒸發(fā)與連續(xù)蒸發(fā)、直接電阻加熱蒸發(fā)和間接電阻加熱蒸發(fā),連續(xù)生產(chǎn)與制造厚膜時采用連續(xù)蒸發(fā)加熱。一個入射的蒸氣原子在表面的滯留時間中,原子不斷地擴散形成不均勻的成核作用，隨著蒸氣原子不斷地沖擊表面,各個核都在增長，相鄰各核開始接觸進入聚結(jié)階段，直到形成連續(xù)膜。也可把上述過程劃分為小島階段、網(wǎng)絡(luò)階段、孔階段及連續(xù)膜階段。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

Parylene裂解儀

Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝（CVD技術(shù)）制備，由活性小分子在基材表面'生長'出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱'無孔不入'可深入裂縫里和內(nèi)表面。這種真空狀態(tài)下室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性，甚至被業(yè)內(nèi)稱為當今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。Parylene涂層在具備以上優(yōu)異防護性能基礎(chǔ)上,尤其還具有良好的生物兼容性,生物穩(wěn)定性，并有優(yōu)異的自潤滑性,涂層均勻可控性,以及好的物理機械性能。樣品臺具有旋轉(zhuǎn)、升降功能，可在線更換掩膜板一次，可同時裝載30mm*30mm樣品16塊。

1.一腔體，采用SUS304不銹鋼艙體有效鍍膜空間 ≧ 直徑300mm x 高度350mm，腔體設(shè)有觀景窗, 采用掀蓋式腔蓋并設(shè)有把手以便腔蓋開閉。

2. 旋轉(zhuǎn)平臺，可承載重量: 20公斤,旋轉(zhuǎn)速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽氣速度 ≧ 200L/min ; 壓力 ≦ 5*10-3Torr。

4. 控制系統(tǒng)，采用具PID功能之溫控模塊及高的精度溫度傳感器，系統(tǒng)可進行自動或半自動(溫控/真空)操作,并可儲存與選擇Recipe 。

5. 附屬冷凝機，溫度 ≦ -90℃

期望大家在選購電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節(jié)疑問。想要了解更多電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品的相關(guān)資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！