氦質譜檢漏儀逆擴散原理

將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，終達到質譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置?？梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。

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氦質譜檢漏儀

標準漏孔的自身要符合相關的質量要求。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質的檢定機構；德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。標準漏孔要經(jīng)常檢定、校準。建議每年進行一次校準。

氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，