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pfeiffer分子泵維修工廠品質(zhì)售后無(wú)憂 廣州潽拓光電

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發(fā)布時(shí)間:2021-08-30 20:58  






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廣州潽拓光電——BPG400 /BPG402 英??礗NFICON 

INFICON皮拉尼復(fù)合真空計(jì)

產(chǎn)品型號(hào):BPG400

I

半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量

工業(yè)鍍膜

一般真空測(cè)量和控制,從低至超高真空范圍

優(yōu)點(diǎn)

極寬的測(cè)量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)

很好的重復(fù)性,壓強(qiáng)范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%

皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀

雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲

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自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)

容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性


廣州潽拓光電——真空計(jì) BPG400 and PCG 402 的工作原理

1、真空計(jì) BPG400 and PCG 402 都是皮拉尼(Pirani)真空計(jì)2、皮拉尼(Pirani)真空計(jì)原理低溫的氣體分子碰撞高溫固體時(shí),會(huì)從固體奪取熱量。通過(guò)被氣體分子奪取的熱量來(lái)計(jì)算壓力的真空計(jì)被成為熱傳導(dǎo)真空計(jì)。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。代表性的熱傳導(dǎo)真空計(jì)包括Pirani真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。廣州潽拓光電——德國(guó)PfeifferVacuum普發(fā)真空分子泵Hipace80/TMH071系列的工作原理設(shè)計(jì)/工作原理普發(fā)真空于1958年由W。    原理

       金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。通過(guò)電極給白金細(xì)線提供電流時(shí),白金細(xì)線會(huì)發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過(guò)固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會(huì)被奪走。德國(guó)PfeifferVacuum普發(fā)真空分子泵Hipace80/TMH071系列的工作原理軸承通過(guò)兩個(gè)球軸承安裝渦輪分子泵轉(zhuǎn)子軸需要將兩個(gè)球軸承都安排在前真空側(cè),因?yàn)檩S承中有潤(rùn)滑劑。單位時(shí)間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時(shí)以下公式成立  

       Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

       Q是單位時(shí)間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。        氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時(shí),Qg通過(guò)自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為

    Qg = αΛπda(T-T0)p (2)        T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長(zhǎng)度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

       Qs = Sκ(T-T0)/L (3)        Qr = πdaσε(T4-T04) (4)         (3)是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電極的長(zhǎng)度。(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱(chēng)為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數(shù)。法國(guó)ALCATEL阿爾卡特真空泵詳細(xì)說(shuō)明法國(guó)ALCATEL機(jī)械泵是ALCATEL的主要真空設(shè)備。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為

      I2R = Ap + I02R (5)        A = αΛπda(T-T0) (6)        I0是壓力為0的時(shí)候細(xì)線的電流, 是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來(lái)的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù)    如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(guò)(5)式求得壓力P。


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廣州潽拓光電——Varian Turbo-V300HT

先進(jìn)的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)與Twis Torr技術(shù)相結(jié)合,可將泵級(jí)數(shù)減少30%

我們特有的整體型轉(zhuǎn)子可減少材料應(yīng)力并改善組裝件容差

電機(jī)縮短啟動(dòng)時(shí)間并在氣體負(fù)荷變化下提高泵的穩(wěn)定性

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