手動(dòng)式三維測(cè)量?jī)x操作者用手握住主軸使其沿著軸移動(dòng)。測(cè)量時(shí)，需注意探頭與工件間測(cè)量壓力、及探頭移動(dòng)因加速度所造成軸產(chǎn)生彎曲導(dǎo)致的一些測(cè)量數(shù)據(jù)的誤差。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式三維測(cè)量?jī)x馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式三維測(cè)量?jī)x一般可由游戲桿控制。它具有高測(cè)量精度、操作起來(lái)相對(duì)手動(dòng)式比較容易、且提供教導(dǎo)式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。CNC式三維測(cè)量?jī)xCNC式三維測(cè)量?jī)x除了具有馬達(dá)驅(qū)動(dòng)式的功能之外，還可自動(dòng)依照計(jì)算機(jī)所預(yù)先設(shè)定的程序執(zhí)行測(cè)量，甚至有些廠商出品的三維測(cè)量?jī)x，也提供了自動(dòng)裝拆工件。