無塵凈化車間工程，由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成，它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù)，調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。) 風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是車間凈化系統(tǒng)的三個基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區(qū)的通道，利用噴出的高速潔凈氣流，可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細(xì)菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁，上部彩鋼天花吊頂，地板用環(huán)氧樹脂鋪成。

潔凈廠房的竣工驗收合格，并經(jīng)核實批準(zhǔn)后，按要求進(jìn)行功能驗收，功能驗收是在“靜態(tài)”進(jìn)行測試，其主要測試內(nèi)容如下：

1 檢測空氣潔凈度等級;

2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應(yīng)進(jìn)行微生物測試或化學(xué)污染物測試或特殊表面的潔凈度測試;

3 潔凈室(區(qū))的溫度、相對濕度的穩(wěn)定性測試;

4 檢測自凈時間;

5 檢測潔凈室(區(qū))的密閉性測試;

6 測定照度;

7 測定噪聲級;

8 需要時，確認(rèn)和記錄氣流形式和換氣次數(shù);

9 其他需要進(jìn)行的其他檢測項目。

對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。