元素氟和硫直接反應(yīng)法。

直接電解法　將硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或硫化氫等加入到無水氟化氫中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。用硫化氫與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產(chǎn)物應(yīng)除去雜質(zhì);催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化四氟hua硫，該法缺點是收率過低。

熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩(wěn)定性很高，在溫度不超過180℃時，它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和氮氣相似。氟hua鈷法　將硫磺或其他硫化物在三fu化鈷和二氯hua鈷存在下與過量氟作用以制備六氟化硫。二氧化硫與氟燃燒法。聯(lián)產(chǎn)法　氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。1、直接合成法經(jīng)凈化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反應(yīng)生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。六氟化硫在常溫常壓下為氣態(tài)，其臨界溫度為45.6℃，三相點溫度為-50.8℃，常壓下升華點溫度為-63.8℃。

儲存注意事項：儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

    六氟化硫微水超標(biāo)危害到底有多重呢？要知道這些水分和SF6氣體反應(yīng)除了產(chǎn)生氫i氟酸等毒i害物質(zhì)，這些產(chǎn)物還會水分的影響下再次發(fā)生反應(yīng)。六氟化硫氣體泄漏檢測技術(shù)SF6氣體泄漏檢測主要采用了電化學(xué)技術(shù)、電i擊穿技術(shù)和紅外光譜吸收技術(shù)。在電弧作用下，SF6分解為氟原子和硫原子，設(shè)備觸頭則蒸發(fā)出金屬Cu和W蒸汽，六氟化硫微水超標(biāo)就會導(dǎo)致水分和這些蒸汽生成金屬氟化物腐蝕元部件表面。另還可能有硫化氫、HF等劇i毒物質(zhì)，不但會腐蝕設(shè)備，一旦發(fā)生泄漏就會直接危害工作人員的生命健康。

    我們使用SF6作為絕緣氣體是看中了其自身的優(yōu)越絕緣性，但是六氟化硫微水過多，導(dǎo)致水氣結(jié)霜會使得絕緣強度下降，直接影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)。