20世紀60年代為了適應核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術。到80年代初，其加工尺寸精度已可達10納米（1納米=0.001微米）級，表面粗糙度達1納米，加工的尺寸達 1微米，正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處于發(fā)展中的跨學科綜合技術。

盡管隨時代的變化，超精密加工技術不斷更新，加工精度不斷提高，各國之間的研究側重點有所不同，但促進超精密加工發(fā)展的因素在本質上是相同的。這些因素可歸結如下。

　　對產(chǎn)品的追求。機構運動精度的提高，有利于減緩力學性能的波動、降低振動和噪聲。對內燃機等要求高密封性的機械，良好的表面粗糙度可減少泄露而降低損失。后，航空航天工業(yè)要求部分零件在高溫環(huán)境下工作，因而采用鈦合金、陶瓷等難加工材料，為超精密加工提出了新的課題。

介紹下精密機械加工的工藝吧！

我們把機械加工分為以下四個階段：

一、先面后孔

對于箱體、支架和連桿等零件應先加工平面后加工孔。這樣就可以以平面定位加工孔，保證平面和孔的位置精度，而且對平面上的孔的加工帶來方便。

二、先加工基準面

零件在加工過程中，作為定位基準的表面應首先加工出來，以便盡快為后續(xù)工序的加工提供精基準。稱為“基準”。

三、光整加工

主要表面的光整加工（如研磨、珩磨、精磨﹨滾壓加工等），應放在工藝路線后階段進行，加工后的表面光潔度在Ra0.9um以上，輕微的碰撞都會損壞表面，在日本、德國等國家，在光整加工后，都要用絨布進行保護，不準用手或其它物件直接接觸工件，以免光整加工的表面，由于工序間的轉運和安裝而受到損傷。

四、劃分加工階段

加工質量要求高的表面，都劃分加工階段，一般可分為粗加工、半精加工和精加工三個階段。主要是為了保證加工質量；有利于合理使用設備；便于安排熱處理工序；以及便于時發(fā)現(xiàn)毛坯缺陷等。