真空過濾器在容器外殼內(nèi)充滿懸浮液。兩側(cè)包有濾布的濾葉浸于懸浮液中，濾葉內(nèi)腔與真空系統(tǒng)連通。濾液吸出后由導(dǎo)管引出，積在濾葉表面的濾渣在停機(jī)后清除。連續(xù)操作的真空過濾器適于過濾含固體顆粒較多的稠厚懸浮液。高壓管路過濾器（A）：設(shè)在泵的出口管道上，有保護(hù)污染物不進(jìn)入系統(tǒng)的作用。轉(zhuǎn)鼓真空過濾器、內(nèi)濾面轉(zhuǎn)鼓真空過濾器、 圓盤真空過濾器和翻斗真空過濾器的工作原理均相似。整個(gè)過濾面分成多個(gè)隔開的過濾室，每個(gè)回轉(zhuǎn)的過濾室通過分配閥與各固定管順序接通，以吸出過濾室內(nèi)的濾液、洗液，或送入壓縮空氣。每個(gè)過濾室回轉(zhuǎn)一圈完成過濾操作的全過程，多個(gè)過濾室的操作銜接起來即形成連續(xù)過濾。帶式真空過濾器的結(jié)構(gòu)與帶式輸送機(jī)相似，有一連續(xù)濾帶，適用于易過濾的懸浮液。帶式真空過濾器、內(nèi)濾面轉(zhuǎn)鼓真空過濾器和翻斗真空過濾器均在過濾介質(zhì)(濾布)上部加料，尤其適用于固體顆粒密度大、沉降快的懸浮液。

加壓：由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜，應(yīng)用較少。常用的加壓過濾是利用濾室容積變小或施加機(jī)械壓榨力進(jìn)行過濾，濾渣含濕量較低，適用于固體顆粒濃度高的懸浮液。中國古代即已應(yīng)用過濾技術(shù)于生產(chǎn)，公元前200年已有植物纖維制作的紙。在帶式壓榨過濾器中，經(jīng)重力或真空初步脫液后的濕濾渣夾在兩條濾帶之間移動，再經(jīng)輥?zhàn)訑D壓脫液。螺旋壓榨過濾機(jī)具有帶孔隙的圓筒，其中有旋轉(zhuǎn)的螺旋，螺旋槽深不等，物料由深槽端加入推向淺槽端，濾室空間逐漸減小，物料受到壓榨，濾液由圓筒的孔隙排出,濾渣由小端排出。

在國外項(xiàng)目中和國內(nèi)新項(xiàng)目中，F(xiàn)8過濾器是非均勻流潔凈室尤為常見的預(yù)過濾器。對于芯片廠100級，10級或更高等級別的潔凈廠房，預(yù)過濾器的常見的效率級別為H10，許多新項(xiàng)目索性選用HEPA。在壓力的作用下，原水通過濾芯，雜質(zhì)截留在濾芯壁上，水透過濾芯流出，從而達(dá)到過濾的目的。在國內(nèi)過去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，過濾器常見配置為：粗效中效高有效。那時(shí)高有效過濾器的使用壽命僅為1--3年，尤其差的也就幾個(gè)月。可見，預(yù)過濾器的效率的高低決定末端過濾器使用的壽命。