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瓦里安分子泵性能愛德華分子泵性能

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發(fā)布時間:2020-11-08 09:44  






我司從事機電自動化,光電存儲媒體,半導體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學研究所等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。我們將會安排專業(yè)的技術(shù)人員為您提供免費的技術(shù)指導和全套滿意的方案。

廣州潽拓光電——出售Agilent安捷倫Turbo-V903渦輪分子泵及專業(yè)維修

真空泵的維修

旋片真空泵長期使用后,會出現(xiàn)真空度下降、密封處漏油、真空泵轉(zhuǎn)動停滯、甚至發(fā)生“卡死”、油污染嚴重、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲、真空泵腔內(nèi)落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異?,F(xiàn)象,此時必須對真空泵進行拆洗。其步驟為,

1、切斷電源,將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下,

2、用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來,以免污染環(huán)境;

3、卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);

4、先拆低真空端,取下后端蓋,再取出低真空轉(zhuǎn)子、旋片及彈簧等;

5、將前端蓋拆下,取出高真空轉(zhuǎn)子、旋片及彈簧等;

6、取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等;

7、裝配時,先裝后級,將彈簧、旋片托起裝入轉(zhuǎn)子內(nèi),然后放入真空泵腔.裝上前端蓋.再裝定位銷.均勻?qū)ΨQ地擰緊螺釘。裝配后.應(yīng)保證轉(zhuǎn)動靈活、均勻。裝好前級轉(zhuǎn)子及后端蓋后,再裝排氣閥(排氣閥片應(yīng)貼緊閥座)及其它件,如氣鎮(zhèn)裝置等。

AgilentTurbo-V903安捷倫渦輪分子泵進氣法蘭口ISO160F,出氣法蘭口KF25,抽速可達到680L/s


我公司提供-Pfeiffer, Leybold,Alcatel ,愛德華,Varia,Seiko Seik,Shimadzu,Agilen,Osak等一線品牌的真空渦輪分子泵,復合分子泵,磁懸浮分子泵,分子泵機組,分子泵電源,分子泵控制器,分子泵驅(qū)動器,氦氣檢漏儀,質(zhì)譜儀的維修、保養(yǎng)、銷售等服務(wù)。產(chǎn)品種類:渦輪分子泵、復合分子泵、牽引分子泵、磁懸浮渦輪分子泵、磁懸浮復合分子泵、干式真空泵、羅茨式真空泵、油旋轉(zhuǎn)真空泵、液環(huán)式真空泵、油擴散真空泵、噴射泵、真空機組、真空設(shè)備等。


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廣州潽拓光電——出售Agilent TV301 Navigator分子泵

Agilent TV301 Navigator分子泵為無油、無污染型,由于葉片轉(zhuǎn)速限制,如果氣體分子運動速度較大,泵抽真空就比較困難。

可以看出,渦輪分子泵也是一種機械式真空泵,分子泵的核心部件是旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片。通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的,在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比,從而獲得所需要的真空性能。

特點:

高可靠性,

免維護的陶瓷軸承:

無油,無污染;

平均無故障時間大大增加。

內(nèi)置控制器可用采用導航控制

簡單并節(jié)省空間的配置;

導航軟件可以輕松地進行遠程控制和監(jiān)控。


分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導體,并可用作掃描電子顯微鏡(SEM) 的專用泵。廣州潽拓光電科技——OsakaTG350FVABOsaka日本大阪真空曾經(jīng)制造出世界上第yi臺復合渦輪分子泵,也制造了當時最da的渦輪分子泵。 Varian TV-301 NAV turbo pump常見用在醫(yī)*行業(yè),質(zhì)普議,各類檢測儀器,大專院校,研究所的真空設(shè)備上.Varian TURBO Pump Controllers V-60 常見用于較老款半導體設(shè)備上. 牽引分子泵的優(yōu)點是啟動時間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體


潽拓——瓦里安分子泵性能,分子泵

        廣州潽拓——Agilent Turbo-V1K-G安捷倫渦輪分子泵維修-Agilent安捷倫分子泵銷售


        廣州潽拓——Agilent Turbo-V1K-G安捷倫渦輪分子泵維修,Agilent Turbo-V1K-G安捷倫渦輪分子泵進氣法蘭口ISO160,出氣法蘭口KF25,抽速可達到750 L/s,轉(zhuǎn)速為45500rpm,極限壓力 <1X10-10 mbar





                             Agilent Turbo-V1K-G 控制器維修出售,提供快修服務(wù)。5大防腐特性嵌入式75°C加熱系統(tǒng)惰性氣體吹掃5軸控制自動平衡系統(tǒng)高通量應(yīng)用ATH400M,ATH1000M,TH1300M是專為高壓、高通量的半導體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設(shè)計。

                             對應(yīng)的控制器為:Agilent  Turbo-V 1KG


潽拓——瓦里安分子泵性能瓦里安分子泵性能,分子泵

   出售Varian TV551NAV瓦里安分子泵 專業(yè)維修AglientTV系列分子泵



廣州潽拓光電——渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。

這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。



分子泵的原理

       分子泵是一種動量型真空獲得設(shè)備,子分子流態(tài)下,氣體分子與高速運動的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動量,從而使氣體分子得到逐級壓縮,后被抽除。



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