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開始并沒有在每道設(shè)置固定的官員和辦事機(jī)構(gòu)，只是臨時(shí)差遣中央或員兼任大使去進(jìn)行巡察,名稱有巡察、按察、黜陟、巡撫、安撫、存撫等使，分道有時(shí)也不是十個(gè)。武后時(shí)改御史臺(tái)為左右肅政臺(tái)，天授二年（691）發(fā)十道存撫使,以右肅政臺(tái)中丞知大夫事李嗣真等為之，漸趨固定化。中宗神龍?jiān)?705)，復(fù)為御史臺(tái)，二年始置十道巡察使,由左右御史臺(tái)及內(nèi)外五品以上官員充任，兩年一替

有專停所屬刺史職務(wù)，差人權(quán)攝的任免權(quán)，故"道"已漸向州的上一級(jí)行政機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化。不久，邊境諸道的采訪使又多為節(jié)度使兼任，加上兼任支度、營田使（見支度使），使軍、民、財(cái)政三權(quán)集于一身，卒致釀成安史之亂和藩鎮(zhèn)割據(jù)之禍。

由于十道監(jiān)察區(qū)域過大，巡察不易，武周時(shí)開始有將其縮小的趨勢(shì)。如武周曾析江南道置黔中道，析嶺南道置安南道；中宗時(shí)江南道為東、西兩道，睿宗又析山南道為東西兩道，隴右道析出河西道。但都還是臨時(shí)措施,未成定制。到了玄宗開元二十一年（733）才正式分十道為十五道