用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高；它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反?yīng)出來，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4），易于穿過漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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充氣開關(guān)柜檢漏設(shè)備  

由于工件內(nèi)外壓差不能大于0.04Mpa,抽空過程中系統(tǒng)可通過電氣控制部分控制工件內(nèi)外基本等壓，如果壓力差超過設(shè)定值，則抽速較快的泵自動停止，等壓力差達(dá)到規(guī)定要求時(shí)，泵自動運(yùn)行，直至真空箱和工件內(nèi)的真空度均達(dá)到規(guī)定值。系統(tǒng)自動記錄、存儲抽真空、充氦、氦檢過程中的工件和真空箱的壓力變化情況。科創(chuàng)真空擁有先進(jìn)的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽(yù)高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。系統(tǒng)同時(shí)具有自我診斷與報(bào)警功能，顯示各種故障信息。

電氣系統(tǒng)同時(shí)具有自我效準(zhǔn)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，以及急停按鈕，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行可靠安全和被檢工件的安全。為了保證工件的安全，系統(tǒng)中采用壓力和真空傳感器同時(shí)使用的方式，以防止傳感器失效而對系統(tǒng)造成的傷害。

結(jié)構(gòu)主要采用電腦觸摸屏的集散式半導(dǎo)體模塊控制系統(tǒng)，分散與集中控制相結(jié)合，層次分明、成本低廉、維護(hù)方便。上位機(jī)采用工控機(jī)，用于向PID發(fā)布指令、系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)集中管理。

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空調(diào)檢漏設(shè)備

真空系統(tǒng)檢漏中不論是采用哪種氣泡檢漏法，應(yīng)用中需要注意：

1、示漏氣體的種類與壓力會影響檢測靈敏度。

2、充入氣體的壓力還要考慮被檢件的機(jī)械強(qiáng)度。

3、被檢件檢測前需要進(jìn)行充分的清潔，同時(shí)要在充好氣后再放入液體中，防止堵塞漏孔。

4、區(qū)分虛漏與真漏，被檢件放入液體中，其表面的吸附氣體可能形成氣泡，需要與漏孔形成的氣泡加以區(qū)分，須將這些氣泡抹掉后再進(jìn)行觀察。

5、觀察時(shí)需要保證光線充足，液體清澈透明（皂膜法時(shí)尤其要注意皂液的稀稠度，過稀易流動滴落導(dǎo)致漏檢，過稠易堵塞透明度差或形成氣泡造成誤檢），觀察背景要暗；同時(shí)被檢件要穩(wěn)，距離水面要近，并保證水面平靜。

真空系統(tǒng)檢漏過程中發(fā)現(xiàn)漏孔要及時(shí)標(biāo)記，并復(fù)查確認(rèn)進(jìn)行焊補(bǔ)，如果采用氫氣作為示漏氣體，要特別注意安全。

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