石英撓性加速度計(jì)的高精度信號(hào)處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實(shí)現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計(jì)性能提高的關(guān)鍵因素之一。 現(xiàn)有技術(shù)方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號(hào)、極易受寄生電容影響,實(shí)用性較低。石英撓性加速度計(jì)主要有4個(gè)分類，分別是SRJ-1、SRJ-2、SRJ-3和SRJ-4等，產(chǎn)品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點(diǎn)，主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，平臺(tái)慣導(dǎo)系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測(cè)量和制導(dǎo)等行業(yè)。

隨著慣性系統(tǒng)低成本化的發(fā)展，在20世紀(jì)60年代中期開始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計(jì)。由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化。目前這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。單軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。單軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時(shí)，相對(duì)位置發(fā)生輕微偏移，引起差動(dòng)電容極板距離的變化導(dǎo)致差動(dòng)電容量的變化。

石英撓性加速度計(jì)溫控儀是加速度計(jì)生產(chǎn)調(diào)試過程中的關(guān)鍵設(shè)備,作用是為加速度計(jì)溫度系數(shù)的測(cè)試提供環(huán)境條件。為模擬加速度計(jì)的實(shí)際工作條件55±3℃，生產(chǎn)過程中必須在55±0.5℃范圍內(nèi)進(jìn)行輸出信號(hào)的測(cè)試。石英撓性加速度計(jì)生產(chǎn)與應(yīng)用發(fā)展迅速，因此其相應(yīng)的溫度控制設(shè)備也非常重要。在溫度測(cè)控方面，分段PID加模糊PID控制方法得到了廣泛的應(yīng)用。模糊控制是以模糊集合論、模糊語(yǔ)言變量及模糊邏輯推理為基礎(chǔ)的計(jì)算機(jī)智能控制，模糊控制的核心部分是模糊控制器，其控制規(guī)律由計(jì)算機(jī)的程序?qū)崿F(xiàn)。一個(gè)模糊控制系統(tǒng)的性能優(yōu)劣主要取決于模糊控制器的結(jié)構(gòu)、所采用的模糊規(guī)則、合成推理算法以及模糊決策的方法等因素。單軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)系統(tǒng)中的閉環(huán)檢測(cè)電路。開發(fā)了基于單載波調(diào)制的電容檢測(cè)電路和伺服驅(qū)動(dòng)電路，在功率放大電路前引入校正環(huán)節(jié)，提高加速度計(jì)系統(tǒng)的動(dòng)靜態(tài)性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，電容檢測(cè)電路線性度好，分辨力可達(dá)到10-16 F量級(jí)，可檢測(cè)到的上限差值電容約為7 pF。

加速度計(jì)是慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的核心元件之一,它敏感載體的加速度信息輸出與載體加速度成比例的信號(hào)。.加速度計(jì)信號(hào)采集電路將加速度計(jì)輸出的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào),加速度計(jì)和加速度計(jì)測(cè)量電路的組合決定了慣性導(dǎo)航系統(tǒng)感知載體加速度的精度。石英撓性加速度計(jì)是敏感加速度的關(guān)鍵傳感器，I/F轉(zhuǎn)換電路則能夠?qū)⒓铀俣扔?jì)輸出的電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為適合計(jì)算機(jī)處理的數(shù)字脈沖信號(hào)。石英撓性加速度計(jì)是測(cè)量線加速度的高精度傳感器，在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。單軸石英擾性加速度傳感器型號(hào)用于商業(yè)場(chǎng)合，例如捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)，可用于機(jī)載，海事，陸地和其他場(chǎng)合。本加速度計(jì)的優(yōu)良性能歸功于成熟的石英撓性技術(shù)，和集成偏置和比例因子溫度模型。另外，除了加速度，INN-202加速度計(jì)也可測(cè)量速度，距離和傾角。