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Leybold復(fù)合分子泵死機(jī)分子泵工作原理

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發(fā)布時(shí)間:2020-11-16 09:49  






廣州潽拓光電科技有限公司是一家專(zhuān)業(yè)做萊寶分子泵維修、德國(guó)萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專(zhuān)業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復(fù)合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對(duì)廣州各地均可收件。

廣州潽拓光--英國(guó)愛(ài)德華iH1800干式真空泵

概述:愛(ài)德華半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。英國(guó)愛(ài)德華iH1800干式真空泵維修


技術(shù)參數(shù)如下:


英國(guó)愛(ài)德華iH1800干式真空泵功能和優(yōu)勢(shì):優(yōu)化了設(shè)施消耗。無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。在節(jié)省功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。德國(guó)愛(ài)德華EXT255H真空泵產(chǎn)品介紹:當(dāng)氣體分子從某抽氣通道的外圓側(cè)進(jìn)入時(shí),它在通道內(nèi)四個(gè)壁面間不停的碰撞,當(dāng)碰在靜止的壁面時(shí),僅通過(guò)反射改變運(yùn)動(dòng)方向。耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。


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廣州潽拓光電——eybold萊寶 TW220/150s是特殊專(zhuān)用分流的渦輪泵,leybold TW220/150S三入口能同時(shí)抽取三個(gè)腔體的真空,分別抽速可達(dá)到250-300 L/S/15L/S,轉(zhuǎn)速為45000rpm,對(duì)應(yīng)的控制器為:leybold T400。精細(xì)的層次和電路圖案需要通過(guò)小心控制的真空沉積和蝕刻過(guò)程步驟加工。



leybold萊寶 產(chǎn)品型號(hào):TW220/150S

同參數(shù)產(chǎn)品類(lèi)型:氣體傳輸泵同

產(chǎn)品材質(zhì):鋁合金同

產(chǎn)品驅(qū)動(dòng)方式:電磁



廣州潽拓——愛(ài)德華 NEXT300D英國(guó)愛(ài)德華分子泵維修-愛(ài)德華d NEXT300T TURBO pump保養(yǎng)-愛(ài)德華NEXT300T二手分子泵 愛(ài)德華NEXT300D/NEXT300T愛(ài)德華渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100ISO-K DN100CF,出氣法蘭口DN25,抽速可達(dá)到300 L/s,轉(zhuǎn)速為60000rpm,對(duì)應(yīng)的控制器為:愛(ài)德華 TIC200。選擇BPG400單一經(jīng)濟(jì)型封裝,在低成本、可重復(fù)的過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。


愛(ài)德華NXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對(duì)N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用愛(ài)德華成熟的軸承技術(shù),上軸承為磁懸浮軸承,下軸承為油潤(rùn)滑陶瓷軸承,并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程,終提高抽速和壓縮比,同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)了用戶(hù)自行維護(hù)。技術(shù)指標(biāo):阿爾卡特真空泵可分為很多種,比如水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、變?nèi)菡婵毡玫鹊?,不同真空泵都有不同的用處,本文介紹水環(huán)真空泵的6大優(yōu)點(diǎn)。它們采用24V到48V直流無(wú)傳感器電機(jī),內(nèi)置驅(qū)動(dòng),與愛(ài)德華的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種預(yù)設(shè)功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氣,但在該功率下達(dá)到滿(mǎn)轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間較長(zhǎng)。


基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。





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