地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板.送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔.氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的。

GMP認(rèn)證車間潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來(lái)自設(shè)備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi);產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般，可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應(yīng)用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來(lái)自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵量也不斷減少。材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

凈化車間煙控原理及設(shè)計(jì)方式

近幾年來(lái)，在我國(guó)的新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)內(nèi)陸續(xù)發(fā)生了多次半導(dǎo)體廠房火災(zāi)事故，雖然所造成的人員傷亡不大，但對(duì)于財(cái)物的損失卻很可觀，其數(shù)目動(dòng)輒以數(shù)十億乃至百億元新臺(tái)幣計(jì)算，對(duì)業(yè)界所造成的損傷與危害可想而知。高溫濃煙才是造成財(cái)損的元兇，但由于土地取得不易，凈化車間廠房多向高樓層發(fā)展，高智慧的技術(shù)人力及昂貴的設(shè)備機(jī)臺(tái)集中在廠房?jī)?nèi)，萬(wàn)一發(fā)生火災(zāi)意外，損失將數(shù)十倍于一般工廠。此外，高科技凈化車間廠房?jī)?nèi)使用許多的性與性氣體，例如SiH4、H2、PH3 等，更增加廠房?jī)?nèi)的潛在危險(xiǎn)，若無(wú)適當(dāng)?shù)膶?duì)策與措施，因此，為了降低火災(zāi)發(fā)生時(shí)人員的傷亡與財(cái)物的損失，必須對(duì)建筑物進(jìn)行煙流控制，這一點(diǎn)新加坡已強(qiáng)制規(guī)定執(zhí)行，而在鄰近的日本、大陸或香港也有類似煙流控制法規(guī)，其目的都是在降低火災(zāi)發(fā)生時(shí)，高溫?zé)熈鲗?duì)員工及設(shè)備污染的傷害。