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單向流潔凈室
單向流潔凈室一般有兩種類型,即水平流和垂直流。在水平流系統(tǒng)中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統(tǒng)中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況:氣流以一個方向流動(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的均速流過整個空間。由滿布潔凈室吊頂?shù)倪^濾器向室內(nèi)送風(fēng)。氣流有如一個空氣活塞,向下流經(jīng)室內(nèi),帶走污染物,然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后,再循環(huán)至過濾器。人員和工藝所產(chǎn)生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉,而紊流通風(fēng)系統(tǒng)采用的是混合與稀釋原理。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。在一間沒有任何障礙物的空房間,單向流用比前面提到的低得多的風(fēng)速,就可以很快將污染物清除。但在一個操作間,機(jī)器以及機(jī)器周圍走動的人員,會對氣流形成障礙。障礙物可以使單向流變成紊流,從而在障礙物周圍形成氣流團(tuán)。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中,由于風(fēng)速較低,空氣稀釋程度較小,從而使得污染濃度較高。因此,必須將風(fēng)速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分鐘至100英尺/分鐘)的范圍里,以便使中斷的單向流能快速恢復(fù),充分稀釋障礙物周圍紊流區(qū)的污染。用風(fēng)速可以正確地表示出單向流,因?yàn)轱L(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時(shí)換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān),如吊頂?shù)母叩?,因此不適合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍(10到100倍)。
3、依據(jù)氣候條件選空調(diào)箱
關(guān)于空調(diào)箱的選擇,應(yīng)考慮所處的氣候環(huán)境。如在冬季氣溫低、空氣含塵量大的北方地區(qū),則應(yīng)在通用的空調(diào)機(jī)組上增設(shè)新風(fēng)預(yù)熱段,采用淋水式空氣處理方式,使其既對空氣洗塵又使其產(chǎn)生熱溫交換達(dá)到所要求的溫、濕度。優(yōu)點(diǎn):管理容易,運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。而在氣候濕潤,空氣含塵濃度較低的南方地區(qū),則冬季也無需對新風(fēng)預(yù)熱,對空氣的過濾及溫、濕度的調(diào)節(jié)則采用初效過濾,表冷面調(diào)節(jié)溫濕度,也可加強(qiáng)溫減濕工序,再經(jīng)中效過濾和終端或亞過濾。空調(diào)箱配套風(fēng)機(jī)一般建議采用變頻風(fēng)機(jī),這不僅節(jié)能,還可靈活調(diào)節(jié)風(fēng)量風(fēng)壓。
凈化工程如今在電子、制藥、食品和生物領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,雖然說不同行業(yè)的凈化系統(tǒng)各不相同,但這些行業(yè)的凈化系統(tǒng)也可以適用于其它行業(yè)中。。4、封閉類:由成膜物質(zhì)制成,形成一層薄膜阻止甲醛釋放,如幾丁聚糖、液體石蠟等缺點(diǎn):一,化學(xué)反應(yīng)過后生成的物質(zhì)很可能帶來二次污染。凈化工程主要就是通過一些凈化技術(shù),凈化設(shè)備,控制一個很好的生產(chǎn)環(huán)境,控制塵粒,控制一定的溫濕度,這需要有好的設(shè)計(jì)還有施工,有很多細(xì)節(jié)。那么這四大領(lǐng)域的凈化工程有哪些區(qū)別呢?
電子廠凈化工程
電子廠的潔凈程度對電子產(chǎn)品的質(zhì)量有非常直接的影響,通常采用送風(fēng)系統(tǒng),并使用過濾機(jī)組將空氣進(jìn)行層層凈化,對工廠的各個位置的凈化程度分等級來區(qū)分,每個區(qū)域都要達(dá)到規(guī)定的凈化級別,在工程完工后需要靜態(tài)驗(yàn)收。
潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道,應(yīng)采取積極隔振措施。
對潔凈廠房內(nèi)外各類振源,應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制,也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對綜合振動影響進(jìn)行評價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動值進(jìn)行比較,以確定對其采取必要的田振措施。
精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施,應(yīng)考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣的彈簧隔振臺座時(shí),應(yīng)對氣溫進(jìn)行處理,使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級。