從60年代中期起，SF6被廣泛用作高壓電氣設備的絕緣介質。SF6氣體絕緣的全封閉開關設備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網絡(SF6氣體絕緣的開關柜和環(huán)網供電單元)。一旦六氟化硫氣體遇到高熱、高溫（如：電弧），會產生出副產物—氧化硫和氟化氫氣體，它們與未分解的六氟化硫氣體共存。SF6氣體絕緣的管道輸電線的優(yōu)點是介質損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場合，因此常用于水電站出線，取代常規(guī)的充油電纜。SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優(yōu)點，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區(qū)和高層建筑的供電。SF6氣體絕緣的超高壓變壓器已研制成功，全氣體絕緣變電所將是變電技術發(fā)展的一個方向。

純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會出現(xiàn)使人窒息的危險，設計戶內通風裝置時要考慮到這一情況。

　　在電弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它們都有強烈的腐蝕性和毒性。因此在電力系統(tǒng)GIS等應用SF6的工作場所，要加裝SF6氣體泄漏監(jiān)測設備。

電子捕獲ECD原理

電子捕獲檢測器（electron capture detector)，簡稱ECD。例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應：會生成氟化亞硫酰、四i氟化硫i酰、氟化硫i酰等有毒物質。 電子捕獲檢測器也是一種離子化檢測器，它是一個有選擇性的高靈敏度的檢測器，它只對具有電負性的物質，如含鹵素、硫、磷、氮的物質有信號，物質的電負性越強，也就是電子吸收系數(shù)越大，檢測器的靈敏度越高，而對電中性（無電負性）的物質，如烷烴等則無信號。

六氟化硫氣體泄漏檢測方法

  目前采用第二種試驗方法較為準確，其實施程序是：抽真空檢驗→SF6氣體→六氟化硫氣體泄漏檢驗。

 具體過程為：在GIS經真空檢漏并靜止SF6氣體5h后，用塑料薄膜在法蘭接口等處包扎，再過24h后進行檢測，如果有一處薄膜內SF6氣體的濃度大于30ppm，則該氣室漏氣率不合格。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體，假如沒有水分子這個外部條件是不會生成SO2、HF及其它有害物質的，從而也就可以避免由它們產生的設備腐蝕。如果所有包扎薄膜內SF6氣體的濃度均小于30ppm，則認為該氣室漏氣率合格。

 六氟化硫氣體泄漏在線監(jiān)控報警系統(tǒng)是檢測現(xiàn)場SF6氣體濃度、氧氣含量及溫濕度等環(huán)境數(shù)據(jù)，并通過大量數(shù)據(jù)分析處理做出控制以及告警的智能氣體報警系統(tǒng)。 

      六氟化硫氣體是一種安全無毒的氣體，不會對皮膚和眼睛造成傷害。由于技術問題等原因，有些SF6氣體產品的純度不達標，出廠時就會帶有一些有害雜質。但是說SF6氣體無害的前提是純品六氟化硫，如果是高壓開關中已經使用過很多次的SF6氣體，當然就不安全了。高溫、水分、高壓以及電弧作用，會導致SF6氣體分解出許多有毒物質，此外高溫的SF6氣體電離產生的電弧本身也非常危險。六氟化硫防護是保護工作人員的必備措施，不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設備還是穿著六氟化硫防護服都屬于六氟化硫防護的內容。