無(wú)塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

圍繞塵埃來(lái)源和塵埃積聚對(duì)潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點(diǎn)：

1、頂棚：頂棚材料多采用表面光滑材料，如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板，可以采用吸附力強(qiáng)的無(wú)塵抹布擦拭表面，并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。

2、墻面：墻面材料多采用表面光滑材料，如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板，可以采用吸附力強(qiáng)的無(wú)塵抹布、無(wú)塵抹水器擦拭表面，并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用，得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。

清潔車間是指專門為控制房間的清潔和清除空氣中在規(guī)定范圍內(nèi)漂浮的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物而設(shè)計(jì)的房間。凈化工程公司對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。