在相對濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。相對濕度小于50%時并不重要，但當(dāng)相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 到目前為止，在半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對相對濕度極為敏感的特性，它對相對濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的水準(zhǔn)。 實際上，相對濕度和溫度對于光刻膠穩(wěn)定性以及的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，改變粘性，就會改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。相對濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59.2A。 此外，在高的相對濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可 以受到較高的相對濕度的影響;較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六二硅氮烷(HMDS)。

電氣：

1、明確該工程各系統(tǒng)種類、施工范圍（強(qiáng)電、消防應(yīng)急、監(jiān)控、呼叫、背景音樂、等）；

2、照明、插座配電總箱，機(jī)組設(shè)備動力配電總箱的技術(shù)要求和產(chǎn)品供應(yīng)安裝單位?？偂⒎峙潆娤渖舷聵峨娎|的技術(shù)要求和供應(yīng)安裝單位；

明確各系統(tǒng)主機(jī)安裝位置（強(qiáng)電、消防應(yīng)急、監(jiān)控、呼叫、背景音樂、等）；

3、明確各配電箱安裝位置及安裝標(biāo)高。

氣體：

各氣體管道接口位置；甲方提供管道是否減壓；管道材質(zhì)；總閥門箱位置；氣體報警形式；各房間配置氣體種類。

基本知識

首位，清潔基本原理。沒有處理氣體先歷經(jīng)初效清潔，再根據(jù)空調(diào)風(fēng)機(jī)開展中效清潔。中效清潔后的氣體由離心風(fēng)機(jī)根據(jù)管路送進(jìn)清潔出風(fēng)口，從而進(jìn)到屋子。氣旋在屋子的流動性帶去室內(nèi)空氣質(zhì)量中的浮塵、病菌等塵粒，隨后根據(jù)送風(fēng)百葉窗簾清除。

其次，凈化工程常見構(gòu)造原材料。生產(chǎn)車間墻、頂板才通常選用50mm厚的夾心彩鋼板，弧形墻腳、門、窗子等通常選用專用型空氣氧化鋁合金型材。路面通常選用環(huán)氧樹脂自流坪環(huán)氧地坪或高級耐磨損塑膠地板，有抗靜電規(guī)定的，必須采用抗靜電型。送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板做成，外界選用阻燃塑料PF聚氨酯發(fā)泡塑膠板。另一個，河南凈化工程送風(fēng)口一般選用不銹鋼板架構(gòu)，沖孔網(wǎng)板用噴漆鋁合金板。

系統(tǒng)軟件組成。河南凈化工程通常分成兩個部分：清潔無塵車間和生產(chǎn)車間凈化設(shè)備。生產(chǎn)車間凈化設(shè)備由更衣間、風(fēng)淋室、清潔間3個基礎(chǔ)構(gòu)成組成。