質(zhì)量分析器：在離子源中產(chǎn)生的不同動能的正離子，在中加速，增加能量后在質(zhì)量分析器將帶電離子根據(jù)其質(zhì)荷比加以分離。質(zhì)譜分析儀是按照離子的質(zhì)荷比(m/z)不同，分離不同分子量的分子，測定分子量并進(jìn)行成分和結(jié)構(gòu)分析的一種精密、的儀器。無機(jī)質(zhì)譜儀適用范圍包括元素周期表中絕大多數(shù)元素，分析速度快，便于進(jìn)行固體分析；電感耦合等離子體質(zhì)譜，譜線簡單易認(rèn)，靈敏度與測量精度很高。

有機(jī)質(zhì)譜儀主要用于有機(jī)化合物的結(jié)構(gòu)鑒定，它能提供化合物的分子量、元素組成以及官能團(tuán)等結(jié)構(gòu)信息。分為四極桿質(zhì)譜儀、離子阱質(zhì)譜儀、飛行時(shí)間質(zhì)譜儀和磁質(zhì)譜儀等。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/e大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測器，采集放大離子信號，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。火花源質(zhì)譜儀不僅可以進(jìn)行固體樣品的整體分析，而且可以進(jìn)行表面和逐層分析甚至液體分析；激光探針質(zhì)譜儀可進(jìn)行表面和縱深分析；輝光放電質(zhì)譜儀分辨率高，可進(jìn)行高靈敏度，高精度分析。

質(zhì)譜儀的日常維護(hù)，清洗離子源，離子源污染會造成重現(xiàn)性不良，應(yīng)及時(shí)清洗離子源。進(jìn)行離子源操作時(shí)需要戴清潔的手套。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀。按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀；按工作原理分為靜態(tài)儀器和動態(tài)儀器。無機(jī)質(zhì)譜儀適用范圍包括元素周期表中絕大多數(shù)元素，分析速度快，便于進(jìn)行固體分析；電感耦合等離子體質(zhì)譜，譜線簡單易認(rèn)，靈敏度與測量精度很高。

無機(jī)質(zhì)譜儀適用范圍包括元素周期表中絕大多數(shù)元素，分析速度快，便于進(jìn)行固體分析；電感耦合等離子體質(zhì)譜，譜線簡單易認(rèn)，靈敏度與測量精度很高。由于化合物有著像指紋一樣的獨(dú)特質(zhì)譜，質(zhì)譜儀在工業(yè)生產(chǎn)中也得到廣泛應(yīng)用。質(zhì)譜儀具有很高的靈敏度和分辨率，在定性和定量方面有很有優(yōu)勢，所以現(xiàn)在配置質(zhì)譜儀的實(shí)驗(yàn)室越來越多。