潔凈手術(shù)室和潔凈輔助用房內(nèi)必須設(shè)置的插座、開關(guān)、器械柜等均嵌入墻內(nèi)，與墻面平齊。 手術(shù)室和輔助用房內(nèi)不得有明露管線。離心式冷水機(jī)組離心式冷水機(jī)組是由離心式制冷壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機(jī)組。管線隱蔽工程在管線施工完成并進(jìn)行試壓驗收后進(jìn)行。管線穿墻、穿吊頂處的洞口周圍用密封材料嵌縫修補(bǔ)平齊、密并清潔。隱蔽工程的檢修口周邊應(yīng)粘貼氣密性密封墊。回風(fēng)管及回風(fēng)口處理：圖紙設(shè)計為側(cè)墻面回風(fēng)，為了保證墻面平整，不增加凹凸面，將回風(fēng)立管移至手術(shù)室的兩斜對角處。

潔凈室的送、回風(fēng)方式影響潔凈室風(fēng)量分布的主要原因是氣流組織、送風(fēng)方式及送、回風(fēng)口的數(shù)量。如果潔凈室氣流分布不勻出現(xiàn)渦流，就會減弱塵埃粒子的稀釋效果，從而影響室內(nèi)粒子濃度場的均勻程度。如果是涉及到電子方面的實驗室，或者是有精密儀器的實驗室，都不允許室內(nèi)有靜電存在。根據(jù)我們的施工實踐，送風(fēng)氣流應(yīng)該由上至下均勻分布開來以便加強(qiáng)擴(kuò)散，減少以短路線進(jìn)入工作區(qū)的直射方式，稀釋塵埃微粒污染，然后沿著沉降的方向從排風(fēng)口排出。由此可見上送下回的送風(fēng)方式較為理想。

抗性消聲器的消聲原理是：它不直接吸收聲能,而是借助管道截面的突出擴(kuò)張或收縮,或旁接共振腔,使沿管道傳播的部分噪聲在突變處向聲源方向反射回去而不通過消聲器,從而達(dá)到消聲的目的。在較寬的頻帶范圍內(nèi)有較大的消聲量。潔凈室的送、回風(fēng)方式影響潔凈室風(fēng)量分布的主要原因是氣流組織、送風(fēng)方式及送、回風(fēng)口的數(shù)量。體積小、造價低、結(jié)構(gòu)簡單、加工方便。消聲器內(nèi)所用材料要能防火、防蛀、防腐、防潮、耐高溫及在氣流作用下不致使吸聲材料被吹走。

在集成電路的制造過程中,被加工的是單一的硅片,從原材料到產(chǎn)品需要進(jìn)行幾百道物理、化學(xué)加工工序,其間如果遭受污染,就會引起產(chǎn)品大量報廢,例如64 MDRAV,在制造過程中,空氣中塵埃粒徑應(yīng)被控制在0.035μm以下;環(huán)境微振動值應(yīng)控制在4.5X10-3mm/s以下,在光刻工序,很小的微振動會引起對位不準(zhǔn),影響產(chǎn)品的成品率。中心實驗室：各類藥品檢驗時的樣品處理、試劑配制、滴定分析、清洗器具、書寫報告等。其他如精密機(jī)械加工、光學(xué)器件檢測、激光實驗、超薄金屬軋制以及理化實驗等都需要對微振動進(jìn)行控制。