把風(fēng)管固定在支、吊架上之后，才能解開繩索，拆移吊裝機(jī)具。水平干管經(jīng)找平找正并固定在支、吊架上后，就可進(jìn)行支管的安裝。立管可在水平干管安裝前進(jìn)行安裝，支架間距不應(yīng)大于4米，每根立管固定件不應(yīng)少于二個(gè)。風(fēng)管水平安裝水平度的允許偏差每米不應(yīng)大于3毫米，總偏差不應(yīng)大于20毫米；風(fēng)管垂直安裝垂直度的允許偏差每米不應(yīng)大于2毫米，總偏差不應(yīng)大于20毫米。

因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

排氣：其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

管道、管件的可拆卸接口和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)應(yīng)安裝在便于操作的位置，不得安裝在墻壁或地板上;與風(fēng)管連接的氣閥部件應(yīng)單獨(dú)支撐和固定。防火擋板的易熔片應(yīng)安裝在迎風(fēng)一側(cè);防火門與墻體之間的距離不得超過200mm。風(fēng)管板和法蘭外形應(yīng)符合規(guī)范和設(shè)計(jì)要求。

吊裝管線時(shí)，嚴(yán)禁在管線上上下移動(dòng);同時(shí)，管道內(nèi)、上表面不得有重物，以防高空墜落物傷人，管道不得承受荷載。