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發(fā)布時間:2020-07-17 05:41  

?電火花線切割

電火花線切割加工要求被加工材料必須導電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。將工件接入脈沖電源正極,采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲,將金屬絲接高頻脈沖電源負極作為工具電極,利用火花放電對加工零件進行切割。脈沖電源提供加工能量,加工過程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑,切割過程中若工件材料過厚時,工作液較難進入和充滿放電間隙,會對加工精度和表面粗糙度造成影響。而隨著微電子和光電子技術(shù)飛速發(fā)展,對半導體和光電晶體的切割加工提出更高要求。

而金剛石線切割不存在導電的問題,其加工精度和粗糙度都大幅提升



金剛石線切割機

金剛石線切割機常用的金剛石線有電鍍型和樹脂型兩種。

1、電鍍型:用電鍍的方法在金屬絲上沉積一層金屬(一般為鎳和鎳鈷合金),并在金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。金屬鍍層是結(jié)合劑,金剛石磨料則用于切削加工。

2,、樹脂型:樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細鋼絲線上噴涂一種增強耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線,主要應(yīng)用于單晶硅、多晶硅、藍寶石、水晶、陶瓷和半導體材料的切割上,能取代目前碳化硅砂漿法,解決了環(huán)境污染。



高速線切割設(shè)備

樹脂金剛石線的特點:

高強度樹脂及金剛石相結(jié)合帶來的強的切割能力,線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質(zhì)量及切割表現(xiàn),高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。但樹脂金剛石線的工藝復雜,目前主要依靠進口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應(yīng)用。

線切割設(shè)備多采用電鍍金剛石線,國內(nèi)的線切割設(shè)備生產(chǎn)廠家眾多,生產(chǎn)能力強,已經(jīng)可以滿足各領(lǐng)域的切割需求




高速切割設(shè)備

切割行程的設(shè)置:

切割行程=樣品的長度 5mm。為保證將樣品切斷,通常會在樣品的實際高度之上增加5㎜。當要求對樣品進行開槽時,實際切割行程應(yīng)與開槽深度相同,為保證停止切割時所開槽口深度達到要求,當切割行程達到設(shè)定行程時應(yīng)暫停切割,但主軸帶動金剛石切割線繼續(xù)運行一段時間,從而使樣品未達到切割深度的位置繼續(xù)被切割,直到樣品被切割部位每一點都達到所要求的切割深度。市場上磁性材料的切割主要是內(nèi)圓切片機,但設(shè)備昂貴,切割尺寸受限,切割速度低,遠遠滿足不了市場的需求。



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