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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí), 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。
通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。25psi或更低)加上微熱(50~60°C)可使得液體從設(shè)備內(nèi)部的微小氣道內(nèi)蒸發(fā)。
由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。質(zhì)量流量控制器即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能提高流量測(cè)量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報(bào)警的流量?jī)x表如果不可靠,應(yīng)該聯(lián)鎖動(dòng)作時(shí)不動(dòng)作,容易釀成事故,不該動(dòng)作時(shí)亂動(dòng)作,容易導(dǎo)致不應(yīng)有的停車,造成損失。
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流量控制器如何測(cè)混合氣體的流量?
質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量百,通過分體分子帶走熱量多少從而來測(cè)量流量,因?yàn)槭怯酶卸葻崾綔y(cè)量,所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。
即氣體流過加熱元件時(shí)將熱量帶走,帶走的熱量與氣體的流速問和氣體的密度成正比。為了保持兩個(gè)溫度傳感器的固定溫差需要電路對(duì)加熱答元件提供更多的功率,電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關(guān),由此測(cè)量流專量。
此方法,日系發(fā)動(dòng)機(jī)常用。
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流量控制器
質(zhì)量流量控制器在正常工作時(shí),流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力,它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí),振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng),工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管,就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng),安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào),這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí),振管的主振頻率不同,據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。熱式質(zhì)量流量計(jì)無活動(dòng)部件,無分流管的熱分布式儀表無阻流件,壓力損失很小。
流量控制器的具體內(nèi)容
1.提高開表率在儀表設(shè)備管理中,開表率的定義是:(儀表總臺(tái)數(shù)一未正常使用的儀表臺(tái)數(shù))/儀表總臺(tái)數(shù)。因此,提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。
2.節(jié)省費(fèi)用這里所說的費(fèi)用除了儀表購置費(fèi)之外,還應(yīng)計(jì)入附件購置費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、運(yùn)行費(fèi)、備品備件費(fèi)、維護(hù)和定期校準(zhǔn)(檢定)費(fèi),而質(zhì)量流量控制器的平均壽命攤?cè)氲恼叟f費(fèi)也不是可忽視的。
3.提高流量測(cè)量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報(bào)警的流量?jī)x表如果不可靠,應(yīng)該聯(lián)鎖動(dòng)作時(shí)不動(dòng)作,容易釀成事故,不該動(dòng)作時(shí)亂動(dòng)作,容易導(dǎo)致不應(yīng)有的停車,造成損失。工業(yè)爐窯中的燃料流量計(jì)如果不可靠,造成流路堵塞,容易導(dǎo)致爐子熄火,釀成事故。用于過程控制的流量?jī)x表如果不可靠,容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯(cuò)誤信息,導(dǎo)致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào),破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定,影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗,造成損失??梢钥闯觯髁?jī)x表的可靠性是較為重要的。質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活,功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高,是新一代流量?jī)x表。
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