無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

無塵室內防止微粒子污染的基本原則：

　   不攜入

　　在無塵室內不攜入微粒子的方法有：

　　作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

　　進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。

　　機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。

　　無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　 在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。蘇州卓宇泰為您介紹潔凈室工作人員應遵循的規(guī)程，有關服裝和個人用品方面的要求，供讀者參考。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有精準的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

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   無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內換氣量還必須用風速乘以出口面積來換算。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。