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特種氣體分類:高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域;特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;20 世紀 80 年代,電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高,隨著氣體供應商供氣模式的引入,國內 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司,國內特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。
特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領域。特種氣體的儲存注意事項:儲存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時,儲存場所需要經(jīng)過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處,需設有安全警示牌。
特種氣體的儲存注意事項:為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門泄漏等造成安全隱患,存放場地需平坦,操作需謹慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅固位置。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。