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市場規(guī)模
中國半導體產(chǎn)業(yè)穩(wěn)定增長,全球半導體產(chǎn)業(yè)向中國轉移。據(jù)WSTS和SIA統(tǒng)計數(shù)據(jù),2016年中國半導體市場規(guī)模為1659.0億美元,增速達9.2%,大于全球增長速度(1.1%)。2016年中國半導體制造用光刻膠市場規(guī)模為19.55億元,其配套材料市場規(guī)模為20.24億元。預計2017和2018年半導體制造用光刻膠市場規(guī)模將分別達到19.76億元和23.15億元,其配套材料市場規(guī)模將分別達到22.64億元和29.36億元。在28nm生產(chǎn)線產(chǎn)能尚未得到釋放之前,ArF光刻膠仍是市場主流半導體應用廣泛,需求增長持續(xù)性強。5-1um,3,前烘,通過在較高溫度下進行烘焙,使存底表面涂覆的光刻膠膜的溶劑揮發(fā),溶劑將至5%左右,同時增強與襯底的粘附性。近些年來,全球半導體廠商在中國大陸投設多家工廠,如臺積電南京廠、聯(lián)電廈門廠、英特爾大連廠、三星電子西安廠、力晶合肥廠等。諸多半導體工廠的設立,也拉動了國內(nèi)半導體光刻膠市場需求增長。
全球市場
目前,光刻膠單一產(chǎn)品市場規(guī)模與海外巨頭公司營收規(guī)模相比較小,光刻膠僅為大型材料廠商的子業(yè)務。但由于光刻膠技術門檻高,就某一光刻膠子行業(yè)而言,僅有少數(shù)幾家供應商有產(chǎn)品供應。
由于光刻膠產(chǎn)品技術要求較高,中國光刻膠市場基本由外資企業(yè)占據(jù),國內(nèi)企業(yè)市場份額不足40%,高分辨率的KrF和ArF光刻膠,其核心技術基本被日本和美國企業(yè)所壟斷,產(chǎn)品也基本出自日本和美國公司,包括陶氏化學、JSR株式會社、信越化學、東京應化工業(yè)、Fujifilm,以及韓國東進等企業(yè)。光刻膠國際化發(fā)展業(yè)內(nèi)人士認為,按照現(xiàn)在“單打獨斗”的研發(fā)路徑,肯定不行。
而細化到半導體用光刻膠市場,國內(nèi)企業(yè)份額不足30%,與國際水平存在較大差距。超過80%市場份額掌握在日本住友、TOK、美國陶氏、美國futurrex等公司手中,國內(nèi)公司中,蘇州瑞紅與北京科華實現(xiàn)了部分品種的國產(chǎn)化,但是整體技術水平較低,僅能進入8英寸集成電路生產(chǎn)線與LED等產(chǎn)線。8刻蝕就是將涂膠前所墊基的薄膜中沒有被光刻膠覆蓋和保護的那部分進行腐蝕掉,達到將光刻膠上的圖形轉移到下層材料的目的。
在光刻膠的生產(chǎn)上,我國主要生產(chǎn)PCB光刻膠,LCD光刻膠和半導體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小, 2015年據(jù)統(tǒng)計我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,其中中低端PCB光刻膠產(chǎn)值占比為94.4%,半導體和LCD光刻膠分分別占比1.6%和2.7%,嚴重依賴進口。硅片脫水烘焙能去除圓片表面的潮氣、增強光刻膠與表面的黏附性、通常大約100°C。
縱觀全球市場,光刻膠專用化學品生產(chǎn)壁壘高,國產(chǎn)化需求強烈。 化學結構特殊、保密性強、用量少、純度要求高、生產(chǎn)工藝復雜、品質(zhì)要求苛刻,生產(chǎn)、檢測、評價設備投資大,技術需要長期積累。
至今光刻膠專用化學品仍主要被被日本合成橡膠(JSR)、東京應化(TOK)、住友化學、美國杜邦、美國futurrex、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。
NR77-25000P,RD8
品牌
產(chǎn)地
型號
厚度
曝光
應用
加工
特性
Futurrex
美國
NR71-1000PY
0.7μm~2.1μm
高溫耐受
用于i線曝光的負膠
LEDOLED、
顯示器、
MEMS、
封裝、
生物芯片等
金屬和介電
質(zhì)上圖案化,
不必使用RIE
加工器件的永
組成
(OLED顯示
器上的間隔
區(qū))凸點、
互連、空中
連接微通道
顯影時形成光刻膠倒
梯形結構
厚度范圍:
0.5~20.0 μm
i、g和h線曝光波長
對生產(chǎn)效率的影響:
金屬和介電質(zhì)圖案化
時省去干法刻蝕加工
不需要雙層膠技術
NR71-1500PY
1.3μm~3.1μm
NR71-3000PY
2.8μm~6.3μm
NR71-6000PY
5.7μm~12.2μm
NR9-100PY
粘度增強
NR9-1500PY
NR9-3000PY
2.8μm~6.3μm
NR9-6000PY
NR71G-1000PY
負膠對 g、h線波長的靈敏度
NR71G-1500PY
NR71G-3000PY
NR71G-6000PY
NR9G-100PY
0.7μm~2.1μm
NR9G-1500PY
1.3μm~3.1μm
NR9G-3000PY
NR9G-6000PY
耐熱溫度
PR1-500A
0.4μm~0.9μm