無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。

　 若能徹底實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的?？刂茪饬骺煞乐刮⒘Ｗ永鄯e，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。