超純水設備工藝技術與傳統的蒸餾法相比較，超純水設備用反滲透法為基礎再聯合了i新電去離子(EDI)技術的i新工藝具有明顯的優(yōu)越性和先進性.節(jié)能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°C高溫狀態(tài)下進行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當中能源的消耗相當大;同時因為溫度較高，所有設備組成部分必須耐受高溫沖擊，設備的造價及維護費用高昂。3、自潔型，又稱自潔式，自潔型則是自行清潔，是自潔式凈水器的反滲透系列，它的優(yōu)點的是無需經濟型的手動操作，也無需自動型的電器元件，不但結構簡單，還能達到整機自潔。反滲透技術結合臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態(tài)，設備投資省，運行維護費用低，可靠節(jié)能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。

超純水處理設備的工藝流程大致分成以下幾種

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點

3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的i新工藝，也是一種環(huán)保，經濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸程窟^濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點 三種制備工業(yè)用超純水的工藝比較目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。此外，儲存的容器也很講究，若是非惰性的物質，離子和容器的塑形物質會析出造成二次污染。