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發(fā)布時(shí)間:2021-10-25 07:17  






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       廣州潽拓光電科技有限公司主要從事半導(dǎo)體:(在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中,分子泵廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備),,太陽(yáng)能電池板等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計(jì),開(kāi)發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開(kāi)發(fā),承接等,為廣大客戶提供Leybold、Pfeiffer、Alcatel、Agilent(Varian)、BOC Edwards、Shimadzu、ULVAC、Osaka等分子泵維修技術(shù)服務(wù)。









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       SplitFlow系列的渦輪分子泵主要用途:可以用一臺(tái)泵同時(shí)對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)的兩個(gè)或三個(gè)腔體進(jìn)行抽氣。 渦輪轉(zhuǎn)子都用單獨(dú)一塊鋁合金整體加工而成,重量小化, 分子泵可以在360度范圍內(nèi)以任意角度工作而無(wú)需任何調(diào)整



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分子泵對(duì)應(yīng)的控制器為:pfeiffer TC400。





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