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超精密加工設備變?yōu)楣I(yè)界常見的生產機器設備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，除了金剛石車床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術也被開發(fā)出來，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。

超精密切削加工主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，精度可達0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。

超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個以上的數量級。到20世紀80年代，加工尺寸精度可達10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達1納米。超精密加工對工件材質、加工設備、工具、測量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)、計算機控制以及其他先進技術。工件材質必須極為細致均勻，并經適當處理以消除內部殘余應力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。

五金零件加工的刀具誤差丈量的誤差，工藝系統(tǒng)的熱變形誤差。工件，刀具的熱變形，切削熱，磨擦熱，附帶熱等，所以很多精細機床都是安放在怛溫車間,(慢走絲機床,CNC機床等等).工件內應力惹起的變形其中切削加工中的剩余應力使工件產生朔性變形。

因而為減小原始誤差形成的加工精度，我們通常會想到機床停止自車，自銑，自磨，自割來盡量挽回原始誤差形成的加工誤差。如用舊的銑床加工外形為200*20*400的鋁合金產品各面的平行度,垂直度,平面度,在0.03之內,又如用精度不高的車床加工巧長軸,又如用舊的線切割機床加工內外圓同軸度在0.02之內的套類零件等等.當我們以為機械加工精度在無可駕馭的時分我們就要想到采取可以采取自車,自銑,自磨,自割這些辦法來解除。