氦質譜檢漏儀

不僅耗能耗時，還會直接影響真空工藝條件，造成產(chǎn)品不合格等重大生產(chǎn)質量問題。氦質譜檢漏儀按檢漏儀上的“開始”按鍵，檢漏儀開始對氣瓶夾層進行抽空。究其原因是由于真空系統(tǒng)設備存在泄漏所致，所以真空系統(tǒng)設備的真空系統(tǒng)需要進行檢漏。對于由各個組件組成的真空系統(tǒng)，各個組件本身存在的一些工藝瑕疵都會直接影響到系統(tǒng)的固有漏率

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氦質譜檢漏儀逆擴散原理

被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。當試件有漏時，泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測。吸槍在試件表面移動，同時注視氦質譜檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

 

標準漏孔的自身要符合相關的質量要求。氦質譜檢漏儀優(yōu)點180度非均勻磁場的質譜室設計，對焦準確，靈敏度高。標準漏孔能自帶第三方的檢測證書。例如，美國國家計量院NIST；中國國家計量院，或有資質的檢定機構；德國的DKD等。標準漏孔要通過有標準漏孔檢定資質的第三方，進行檢定。以此來保證標準漏孔本身沒有問題。標準漏孔要經(jīng)常檢定、校準。建議每年進行一次校準。