氦質譜檢漏儀逆擴散原理

對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質譜檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個機械泵和兩個閥門，復雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵，前級系氣鎮(zhèn)式機械泵。

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氦質譜檢漏儀

氫氣有些性能（如質量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險，另一方面在油擴散泵中，由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，

工業(yè)用氦：氦含量≥99%，≤43℃.

純氦分三級：優(yōu)等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。

高純氦分為三級：優(yōu)等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦氣在氦質譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高，一般選用工業(yè)用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。