氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進(jìn)入被檢件，終達(dá)到質(zhì)譜管被檢測(cè)。所測(cè)漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個(gè)泄漏點(diǎn)和每個(gè)漏點(diǎn)的準(zhǔn)確位置?？梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的自身要符合相關(guān)的質(zhì)量要求。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能自帶第三方的檢測(cè)證書。例如，美國(guó)國(guó)家計(jì)量院NIST；中國(guó)國(guó)家計(jì)量院，或有資質(zhì)的檢定機(jī)構(gòu)；德國(guó)的DKD等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要通過(guò)有標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進(jìn)行檢定。以此來(lái)保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔本身沒(méi)有問(wèn)題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要經(jīng)常檢定、校準(zhǔn)。建議每年進(jìn)行一次校準(zhǔn)。

氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味的隋性氣體。相對(duì)分子質(zhì)量為4.003，分子直徑為2.18×10-10m，