真空泵的分類

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、隔膜泵、渦旋泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵、鈦升華泵、低溫泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

真空泵的特點(diǎn)

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

    簡析真空技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展

    冶金工業(yè)：冶金工業(yè)需用到的真空技術(shù)包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應(yīng)熔煉、感應(yīng)殼熔煉、真空電弧重熔等。其中，真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面。這項(xiàng)技術(shù)主要應(yīng)用于原子能工業(yè)，宇宙空間技術(shù)、海洋鉆探技術(shù)、燃?xì)獍l(fā)動機(jī)技術(shù)、汽車工業(yè)、飛機(jī)制造業(yè)、高速列車等高技術(shù)工業(yè)中，對鋼中的某些元素進(jìn)行控制和處理，對鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來越高的要求。目前各種應(yīng)用行業(yè)擁有現(xiàn)代化的真空處理設(shè)備，大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質(zhì)的含量，處理水平也不斷提高。美、日、德等國已經(jīng)將此項(xiàng)技術(shù)作為國家標(biāo)準(zhǔn)，并對其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用１００％的真空脫氣處理，完成現(xiàn)代化鋼鐵工業(yè)的基本要求。

　　電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來越小，集成度要求越來越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見其發(fā)展對真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠商的銷售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

　　機(jī)械制造行業(yè)：這是一個帶動性強(qiáng)、帶動作用廣的產(chǎn)業(yè)，目前歐債危機(jī)的陰霾仍未散去，各國積極將機(jī)械制造產(chǎn)業(yè)作為提振經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)。它的技術(shù)應(yīng)用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統(tǒng)領(lǐng)域。真空熱處理是指將真空技術(shù)與熱處理技術(shù)緊密結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。它對工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過程等特點(diǎn)。另外，它本身工藝操作靈活、無公害的特點(diǎn)成為行業(yè)常用的處理手段。