氦質(zhì)譜撿漏儀檢漏方法

氦質(zhì)譜檢漏儀，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。

氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

正常運行時，空氣經(jīng)過漏點被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質(zhì)譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點處噴氦氣，由于氦質(zhì)譜檢漏儀工作時能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀，由于氦分子質(zhì)量與其他分子質(zhì)量不一樣，通過磁場產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)磁力不一樣，氦質(zhì)譜檢漏儀上設計有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計數(shù)，即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方式

1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測出漏點，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負壓，則用真空模式。

氦質(zhì)譜檢漏儀應用行業(yè)

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